ケータハム ロードスポーツ のみんなの質問
Peeping Tomさん
2016.11.21 12:08
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アテンザXD
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shi********さん
2016.11.22 00:54
この方法では、ウェハー接合面の内側にくるパターンを可視光で見られるため、IRを使う場合よりもアライメント精度が向上する。
また、ウェハー同士を接触させるための上下方向の動きが大きくなると、アライメントの誤差もその分大きくなるが、SmartView®では2枚のウェハーの隙間を非常に狭ギャップにした状態でアライメントを行うため、接合時にウェハーを上下方向に動かす距離を小さくできるという利点がある。
アライメント精度測定装置「EVG®40NT」
貼り合わせ後のウェハー接合面のアライメント精度を測定する装置としては「EVG®40NT」がある。貼り合わせた内側の面にあるアライメントマークを反射型または透過型のIR干渉法で測定する。
接合面にパターンが形成されている場合のCD(クリティカル・ディメンション)の測定も行える。また最近では、シリコンの厚さや接着剤の厚さの測定も追加できるようになっている。
kp9********さん
2016.11.23 12:28
くーぺだーーーいすき。
nak********さん
2016.11.21 23:00
クーペ派、3BOXセダン派なんてこの世に存在するかしないかわからない位の希少種ですから保護をする必要はあるかもしれませんが
そんな普段見ることのない希少種の目を気にするのは馬鹿げています。
sha********さん
2016.11.21 13:10
殆ど絶滅危惧種でしょ。クーペとか3BOX車など
佐藤C作さん
2016.11.21 12:35
クーペ派とか3box派なんて、このカテゴリにいると結構いるように錯覚しますが、世間一般ではほぼ絶滅危惧種なのでなんの影響力も持ちません。
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