パナソニックと東京精密で共同開発プラズマダイシング工法向けレーザパターニング装置の受注を開始

パナソニック スマートファクトリーソリューションズ（PSFS）と東京精密は、共同開発した「プラズマダイシング工法向けレーザパターニング装置」（AL300P）の受注を開始した。AL300Pはシリコンウエハーからダメージレスでチップを切り出すことが可能な「プラズマダイシング工法」向けに開発された新商品。

＜新製品の主な特長＞
東京精密製 レーザパターニング装置 AL300P
PSFS製プラズマダイシング装置（APX300）専用に開発されたレーザパターニング装置。