豊田通商と関西学院大学、SiCウエハーを研究開発 共同出資の新会社「キュレダリサーチ」設立 2025年の実用化目指す

　豊田通商と関西学院大学は２２日、共同出資によりパワー半導体材料のＳｉＣ（炭化ケイ素）ウエハーの研究開発を行う新会社「キュレダリサーチ」を設立したと発表した。資本金４億５千万円を折半出資し、豊田通商機械・エネルギー・プラントプロジェクト本部の瀬川恭平氏＝写真左から２人目＝が社長を務める。両者が共同開発した、ＳｉＣウエハーの表面ナノ制御プロセス技術「ダイナミック・エイジング」と、ウエハーの加工で生じる結晶表面の歪みを可視化する計測技術を軸に、ウエハーの高品質化や生産性の向上、大口径化に取り組む。２０２５年の実用化を目指す。

　「ダイナミック・エイジング」は、高温加熱によりウエハー表面の原子配列を並び替える非接触式の加工技術を取り入れた、新たなウエハー製造法だ。関西学院大学工学部の金子忠昭教授（新会社の代表取締役ＣＴＯ＝最高技術責任者）が生み出した。ウエハー品質の向上と低コスト化につながる有望技術だ。

　豊通と関西学院大学は１７年から高品質なＳｉＣウエハーの量産プロセス技術を共同開発してきた。