ジェイテクト：環境規制対応真空・クリーン用ベアリングを開発

ジェイテクトは、欧州連合(EU)の化学物質規制「REACH」や「POPs条約」などへの対応として、環境規制に対応した真空・クリーン用新ベアリング「EXSEV-EX」を開発した。

開発の背景

　REACH規則の制限対象物質リストが修正され、2020年7月4日よりパーフルオロオクタン酸（PFOA）およびその関連物質が規制の対象となる。 これまでジェイテクトでは、低発塵で主に半導体製造過程など真空環境で使用されるKDLグリースを使用したDLベアリングを製造・販売していたが、このグリースの製造過程でPFOAが発生することがわかった。 そこで今回、製造過程で規制対象物質を含有しないグリースを使用し、環境規制に対応した軸受「EXSEV－EX」を開発した。

　本製品は、環境規制に対応するだけでなく、従来のDLベアリングと比較して、低発塵、アウトガス、起動トルク、回転トルク、音響、寿命において同等以上の性能を有することを確認している。

【量産開始】2020年4月
【売上目標】10億円/年
【販売先】　半導体製造装置メーカー、フィルム製造装置メーカー等
【製造工場】徳島工場、国分工場、亀山工場、ダイベア（グループ会社）