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現在位置: carview! > ニュース > 業界ニュース > 関西学院大学と豊田通商 パワー半導体用のSiC基板を実現する革新的技術を開発

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関西学院大学と豊田通商は2021年3月1日、電気自動車のキー技術ともなる、次世代のパワー半導体の材料SiC(炭化ケイ素:シリコンカーバイド)の基板を、高効率に生産できる「表面ナノ制御プロセス技術」を開発し、SiC欠陥ゼロになると発表しました。

今回発表された生産技術は、SiC基板の高品質化と生産性向上を同時に実現する革新的な技術であり、量産サイズの6インチSiCウエハーでの性能検証を完了していることも明らかにしました。

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