HORIBAグループで半導体事業を担う堀場エステックは、チャンバー内の圧力測定に使用されるキャパシタンスマノメーター「VG-500S」(隔膜式真空計)を12月17日に発売する。この新製品をSEMICON Japan 2025に出展する。
近年、半導体デバイスの微細化・三次元構造化が進展し、製造プロセスの複雑化が加速している。高品質な半導体を安定的に供給するためには、より高度なプロセス管理と精密な制御が不可欠だ。特に成膜やエッチング工程では、チャンバー内へのガス供給量の制御に加え、真空状態の維持なども歩留まり改善や生産性向上に寄与する重要な要素となっている。
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