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住友化学、大阪工場の体制強化 半導体フォトレジスト事業拡大へ

住友化学、大阪工場の体制強化 半導体フォトレジスト事業拡大へ

 住友化学は22日、半導体フォトレジスト(パターン形成に使用される感光性樹脂)事業の拡大を目的に、大阪工場(大阪市此花区)の開発、評価体制を強化すると発表した。クリーンルームの新棟を建設するほか、新規の評価装置を導入する。2022年度上期の完成をめざす。

 同社はこれまで高機能フォトレジスト原料の設計や量産化技術に加え、製造、研究、販売を大阪工場の構内に集約。19年度には大阪工場に新プラントを建設するなど生産能力の増強を行ってきた。

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 今後、人工知能(AI)の進化や第5世代移動通信システム(5G)の本格商用化などを背景に先端半導体の需要の高まりが見込まれることから、大阪工場への投資を決定。クリーンルームの新棟建設に加え、新たな露光機を導入。開発効率を向上させ、品質保証体制を強化することにした。さらなる投資も検討していくという。

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